真空固化爐是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱溫度最高可達(dá)450°c 固化爐的工作原理和操作流程：
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源，利用風(fēng)機(jī)對(duì)加熱總成對(duì)流換氣的方式加熱空氣，通過熱空氣與物料的熱量傳遞，空氣通過進(jìn)風(fēng)口不斷補(bǔ)充，濕空氣排出箱外，使?fàn)t內(nèi)的溫度不斷提高，模具逐漸預(yù)熱。 操作程序。
2、固化爐開機(jī)前準(zhǔn)備
①崗位操作人員開機(jī)前首先必須熟悉本機(jī)的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識(shí)。
?、跈z查設(shè)備的狀態(tài)標(biāo)志及衛(wèi)生清潔狀況。
③檢查電器系統(tǒng)是否完好，電動(dòng)機(jī)是有無受潮漏電。
3、固化爐操作過程
?、偈紫葘⑴_(tái)車及爐內(nèi)部清洗干凈。
②打開供電設(shè)備電源開關(guān)、打開設(shè)備“電源開關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
?、鄞蜷_爐門，將模具及物料放上臺(tái)車推入烘爐內(nèi)，關(guān)閉爐門。
④設(shè)定烘爐溫度，并打開烘爐“風(fēng)機(jī)”及“升溫”按鈕。
?、葸_(dá)到固化時(shí)間打開爐門，將臺(tái)車推出爐門，取出固化后的物料。
⑥當(dāng)工作結(jié)束時(shí)，分別關(guān)閉“升溫”和“風(fēng)機(jī)”按鈕，使加熱系統(tǒng)、鼓風(fēng)系統(tǒng)停止工作。
⑦最后關(guān)閉“電源開關(guān)”旋鈕，合上總閘，打開爐門，取出已烘干的物料，工作程序結(jié)束。
4、固化爐操作注意事項(xiàng)
①烘爐安裝場(chǎng)地應(yīng)平整、光滑。
?、陔娖骺刂迫藛T有專業(yè)的管理和維修;當(dāng)爐箱不用時(shí)，應(yīng)切斷電源，確保安全。
③切勿將易燃易爆物品放入烘爐內(nèi)，以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程，希望以上知識(shí)對(duì)您有所幫助！
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